一種晶圓輸送下料機構(gòu)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202120297585.3 申請日 -
公開（公告）號 CN214690377U 公開（公告）日 2021-11-12
申請公布號 CN214690377U 申請公布日 2021-11-12
分類號 B65B23/00（2006.01）I 分類 輸送；包裝；貯存；搬運薄的或細絲狀材料;
發(fā)明人 楊勇 申請（專利權(quán)）人 蘇州矩浪科技有限公司
代理機構(gòu) 蘇州言思嘉信專利代理事務所（普通合伙） 代理人 劉巍
地址 215000江蘇省蘇州市高新區(qū)培源路1號軟件大廈5號樓203（1）
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種晶圓輸送下料機構(gòu)，包括支撐平臺、設置于支撐平臺上用于有序放置料盒的料盒放置裝置、設置于支撐平臺上用于控制Y方向移動的Y軸移動裝置、設置于Y軸移動裝置上用于控制Z方向移動的Z軸移動裝置、設置于Z軸移動裝置上用于夾持料盒且收納下料的晶圓的夾框裝置、設置于支撐平臺上用于放置晶圓的晶圓安裝裝置、設置于晶圓安裝裝置上用于推動晶圓安裝裝置上的晶圓的推料裝置，本實用新型的有益效果是，通過料盒放置裝置、夾框裝置、晶圓安裝裝置、推料裝置配合能夠很好地將晶圓推至夾框裝置中的料盒內(nèi)。