一種基于吸氣劑熱-電復(fù)合激活的真空烘烤工藝
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201910389354.2 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN110078020B | 公開(kāi)（公告）日 | 2022-02-08 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN110078020B | 申請(qǐng)公布日 | 2022-02-08 |
| 分類(lèi)號(hào) | B81C1/00（2006.01）I;B81C3/00（2006.01）I | 分類(lèi) | 微觀(guān)結(jié)構(gòu)技術(shù)〔7〕; |
| 發(fā)明人 | 馬晶晶;歐文;羅九斌;臺(tái)憲青 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 江蘇物聯(lián)網(wǎng)研究發(fā)展中心 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 無(wú)錫市大為專(zhuān)利商標(biāo)事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 殷紅梅;張仕婷 |
| 地址 | 214135江蘇省無(wú)錫市新吳區(qū)菱湖大道200號(hào)中國(guó)傳感網(wǎng)國(guó)際創(chuàng)新園C座 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明涉及一種基于吸氣劑熱?電復(fù)合激活的真空烘烤工藝，屬于半導(dǎo)體封裝技術(shù)領(lǐng)域。其在烘烤除氣步驟的后半階段，通過(guò)電加熱的方式將吸氣劑提前激活參與除氣，利用吸氣劑的再激活特性，反復(fù)激活吸氣劑，以達(dá)到抽氣的最大效率。最后一次高溫激活后結(jié)束烘烤和吸氣劑激活工藝，進(jìn)入真空焊接步驟。本發(fā)明在確保吸氣劑最終有效激活的基礎(chǔ)上，降低烘烤除氣的時(shí)間，從而提高封裝效率，節(jié)約封裝成本。實(shí)際實(shí)施過(guò)程中，選擇合適的吸氣劑，充分利用吸氣劑的再激活特性，采用間斷、多次激活的方式，以保持吸氣劑表面的吸氣活性。 |
