一種基于吸氣劑熱-電復(fù)合激活的真空烘烤工藝

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201910389354.2 申請日 -
公開（公告）號 CN110078020B 公開（公告）日 2022-02-08
申請公布號 CN110078020B 申請公布日 2022-02-08
分類號 B81C1/00（2006.01）I;B81C3/00（2006.01）I 分類 微觀結(jié)構(gòu)技術(shù)〔7〕;
發(fā)明人 馬晶晶;歐文;羅九斌;臺憲青 申請（專利權(quán)）人 江蘇物聯(lián)網(wǎng)研究發(fā)展中心
代理機(jī)構(gòu) 無錫市大為專利商標(biāo)事務(wù)所（普通合伙） 代理人 殷紅梅;張仕婷
地址 214135江蘇省無錫市新吳區(qū)菱湖大道200號中國傳感網(wǎng)國際創(chuàng)新園C座
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種基于吸氣劑熱?電復(fù)合激活的真空烘烤工藝，屬于半導(dǎo)體封裝技術(shù)領(lǐng)域。其在烘烤除氣步驟的后半階段，通過電加熱的方式將吸氣劑提前激活參與除氣，利用吸氣劑的再激活特性，反復(fù)激活吸氣劑，以達(dá)到抽氣的最大效率。最后一次高溫激活后結(jié)束烘烤和吸氣劑激活工藝，進(jìn)入真空焊接步驟。本發(fā)明在確保吸氣劑最終有效激活的基礎(chǔ)上，降低烘烤除氣的時(shí)間，從而提高封裝效率，節(jié)約封裝成本。實(shí)際實(shí)施過程中，選擇合適的吸氣劑，充分利用吸氣劑的再激活特性，采用間斷、多次激活的方式，以保持吸氣劑表面的吸氣活性。