紅外氣體傳感器及其制備方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202010263358.9 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN113495059A 公開（公告）日 2021-10-12
申請(qǐng)公布號(hào) CN113495059A 申請(qǐng)公布日 2021-10-12
分類號(hào) G01N21/3504（2014.01）I 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 蔣文靜;歐文;李志剛 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 江蘇物聯(lián)網(wǎng)研究發(fā)展中心
代理機(jī)構(gòu) 北京蘭亭信通知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 趙永剛
地址 214000江蘇省無錫市新吳區(qū)菱湖大道200號(hào)中國傳感網(wǎng)國際創(chuàng)新園C座
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種紅外氣體傳感器及其制備方法。紅外氣體傳感器包括：電連接層、紅外探測(cè)器、第一襯底和第二襯底，第二襯底位于第一襯底的第一方向上；第二襯底的朝向第二方向的表面開設(shè)有腔槽，且第二襯底和第一襯底通過第一鍵合金屬層進(jìn)行鍵合，以將腔槽的開口閉合，使腔槽形成腔室；紅外氣體傳感器開設(shè)有通氣孔，用于將腔室與外界連通；第一襯底設(shè)置有紅外光源和光學(xué)天線；紅外光源用于向腔室提供紅外光線，光學(xué)天線用于將腔室內(nèi)的紅外光線聚集至紅外探測(cè)器，紅外探測(cè)器用于吸收聚集的紅外光線并根據(jù)吸收的紅外光線生成相應(yīng)電信號(hào)，電連接層用于連接外部電源以進(jìn)行供電。本發(fā)明能夠?qū)崿F(xiàn)紅外氣體傳感器的微型化。