一種光刻膠顯影液

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201710062714.9 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN106527065B 公開(kāi)（公告）日 2019-06-28
申請(qǐng)公布號(hào) CN106527065B 申請(qǐng)公布日 2019-06-28
分類號(hào) G03F7/32（2006.01）I 分類 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕;
發(fā)明人 羅利 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 綿陽(yáng)艾薩斯電子材料有限公司
代理機(jī)構(gòu) 成都行之專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 陳蔣玲
地址 621000 四川省綿陽(yáng)市經(jīng)開(kāi)區(qū)三江大道327號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開(kāi)了一種光刻膠顯影液，包括水、非離子表面活性劑和無(wú)機(jī)堿，非離子表面活性劑包括蓖麻油聚氧乙烯醚、式I結(jié)構(gòu)通式所示的化合物，本發(fā)明的顯影液具有優(yōu)良的工藝余度，能夠僅僅通過(guò)調(diào)整曝光量及膜厚來(lái)用于多種光刻膠的處理，顯影時(shí)效長(zhǎng)、顯影的適用范圍寬。