光刻用稀釋劑廢液的純化再生方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110097649.X 申請日 -
公開（公告）號 CN112892041A 公開（公告）日 2021-06-04
申請公布號 CN112892041A 申請公布日 2021-06-04
分類號 B01D29/56;G03F7/42 分類 一般的物理或化學的方法或裝置;
發(fā)明人 馮衛(wèi)文;宋斌;王芳;徐樂 申請（專利權(quán)）人 綿陽艾薩斯電子材料有限公司
代理機構(gòu) 成都行之專利代理事務所（普通合伙） 代理人 羅健龍
地址 621000 四川省綿陽市經(jīng)開區(qū)三江大道327號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了光刻用稀釋劑廢液的純化再生方法，屬于液晶顯示器薄膜晶體管和觸摸屏行業(yè)廢液回收利用技術(shù)領(lǐng)域。本發(fā)明解決的技術(shù)問題是現(xiàn)有光刻用稀釋劑的回收利用成本高、環(huán)境污染大。本發(fā)明光刻用稀釋劑廢液的純化再生方法，將稀釋劑廢液通過0.1um～10um膜初步過濾掉大顆粒雜質(zhì)，然后依次通過孔徑1?10nm膜實施一級精濾，通過孔徑<5nm膜實施二級精濾，通過孔徑<0.1nm膜實施三級精濾。本發(fā)明可對光刻用稀釋劑廢液進行有效的純化再生處理，凈化后的稀釋劑可回用于平板顯示器薄膜晶體管和觸摸屏行業(yè)生產(chǎn)工藝，降低廢液處置成本和環(huán)保風險。