PFA光刻膠再生剝離液及其制備方法與應用

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110023001.8 申請日 -
公開（公告）號 CN112764330A 公開（公告）日 2021-05-07
申請公布號 CN112764330A 申請公布日 2021-05-07
分類號 G03F7/42(2006.01)I 分類 攝影術；電影術；利用了光波以外其他波的類似技術；電記錄術；全息攝影術〔4〕;
發(fā)明人 馮衛(wèi)文;羅堂富;王芳;王博;葉帥 申請（專利權）人 綿陽艾薩斯電子材料有限公司
代理機構 成都行之專利代理事務所（普通合伙） 代理人 唐邦英
地址 621000四川省綿陽市經(jīng)開區(qū)三江大道327號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了PFA光刻膠再生剝離液及其制備方法與應用，所述PFA光刻膠再生剝離液，包括以下重量百分比組分：酯基氫氧化物7?20％，含氧基胺5?12％，水溶性有機溶劑60?75％，非離子表面活性劑0.5?2％，緩蝕劑0.1?1.5％，余量為去離子水。本發(fā)明所述PFA光刻膠再生剝離液不僅能夠控制堿度變化，且能夠大大延長銅出現(xiàn)腐蝕的時間；在保持應有的剝離效率和質(zhì)量的同時，不會對基板需要保留的Cu/Al及PV層造成腐蝕。??