一種NMP廢液純化方法及系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110183004.8 申請日 -
公開(公告)號 CN112939838A 公開(公告)日 2021-06-11
申請公布號 CN112939838A 申請公布日 2021-06-11
分類號 C07D207/267;B01D61/58;B01D61/14;B01D61/02;B01D15/08 分類 有機化學(xué)〔2〕;
發(fā)明人 馮衛(wèi)文;王芳;宋斌;夏姣 申請(專利權(quán))人 綿陽艾薩斯電子材料有限公司
代理機構(gòu) 成都行之專利代理事務(wù)所(普通合伙) 代理人 胡曉麗
地址 621000 四川省綿陽市經(jīng)開區(qū)三江大道327號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種NMP廢液純化方法,包括以下步驟:對NMP廢液進行初濾,所述初濾的過濾精度為0.1~10μm;在10bar以下的壓力條件下,通過一級精濾膜對經(jīng)過所述初濾后的NMP廢液進行一級精濾,所述一級精濾膜的過濾精度為1~10nm膜;在15bar以下的壓力條件下,通過二級精濾膜對經(jīng)過所述一級精濾的NMP廢液進行二級精濾,所述二級精濾膜的過濾精度小于5nm;在40bar以下的壓力條件下,通過三級精濾膜對經(jīng)過所述二級精濾的NMP廢液進行三級精濾,所述三級精濾膜的過濾精度小于0.1nm,收集濾液,得到NMP凈化液。本申請采用膜工藝提純NMP廢液,將廢液中的雜質(zhì)、NMP溶劑實施分離,其具有投資小、占地面積小、工藝簡單、運行費用低。