負(fù)性光刻膠顯影液及其制備方法、應(yīng)用

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110512686.2 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN113253580A 公開（公告）日 2021-08-13
申請(qǐng)公布號(hào) CN113253580A 申請(qǐng)公布日 2021-08-13
分類號(hào) G03F7/32 分類 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕;
發(fā)明人 王芳;王博;尹懷剛;侯倩 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 綿陽艾薩斯電子材料有限公司
代理機(jī)構(gòu) 成都行之專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 唐邦英
地址 621000 四川省綿陽市經(jīng)開區(qū)三江大道327號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了負(fù)性光刻膠顯影液及其制備方法、應(yīng)用，負(fù)性光刻膠顯影液包括以下組分：無機(jī)堿，緩蝕劑，阻垢劑，消泡劑，非離子表面活性劑和去離子水。本發(fā)明采用了極低含量的無機(jī)堿代替?zhèn)鹘y(tǒng)的有機(jī)溶劑和有機(jī)堿，其中一種添加劑可以很好的絡(luò)合里面的金屬離子，使得后序工藝中不會(huì)出現(xiàn)短路，陰影的情況；第二種添加劑是對(duì)于未曝光的光刻膠有極好的溶解效果，對(duì)于曝光部分又極難反應(yīng)，顯影效果佳，不會(huì)出現(xiàn)殘膠；第三種添加劑對(duì)于泡沫有著很好的抑制性和消泡性，在使用過程中不會(huì)出現(xiàn)大量泡沫，使顯影不均勻，起泡溢流的情況。該顯影液同時(shí)兼具顯影圖像完整、無毛刺、無殘膠和氣泡時(shí)間短的優(yōu)點(diǎn)，且成本相對(duì)較低、原料綠色環(huán)保。