一種多晶硅還原節(jié)能生產(chǎn)工藝

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201310692115.7 申請日 -
公開（公告）號 CN103754881A 公開（公告）日 2014-04-30
申請公布號 CN103754881A 申請公布日 2014-04-30
分類號 C01B33/035(2006.01)I 分類 無機(jī)化學(xué);
發(fā)明人 燕軍 申請（專利權(quán)）人 內(nèi)蒙古同遠(yuǎn)咨詢集團(tuán)股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京世譽(yù)鑫誠專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 內(nèi)蒙古同遠(yuǎn)企業(yè)管理咨詢有限責(zé)任公司
地址 017300 內(nèi)蒙古自治區(qū)鄂爾多斯市東勝區(qū)迎賓路3號街坊9號樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種多晶硅還原節(jié)能生產(chǎn)工藝，涉及一種利用三氯氫硅和氫氣還原生產(chǎn)多晶硅的工藝，該工藝是將來自精餾提純工序的三氯氫硅與來自尾氣回收工序的氫氣會合到汽化器中，在汽化器中三氯氫硅與氫氣按照1：5-10比例汽化，氣化后的三氯氫硅與氫氣混合蒸汽一路輸送給過熱器，經(jīng)過熱器加熱至300-400℃，進(jìn)入還原爐A，還原爐A出來的還原尾氣與汽化器出來的二路三氯氫硅與氫氣混合蒸汽匯集在一起，分別進(jìn)入還原爐B和還原爐C，從還原爐B和還原爐C出來的尾氣會合后進(jìn)入過熱器，從過熱器出來的尾氣進(jìn)入尾氣冷卻器與循環(huán)水換熱后輸送到尾氣回收工序；本發(fā)明可以回收還原尾氣夾帶的熱量50-80%，每年單臺12對棒的還原爐節(jié)約電費(fèi)20-64萬元。