一種西門子法生產(chǎn)多晶硅工藝中還原爐的進料噴嘴
基本信息
申請?zhí)?/td> | CN201320367774.9 | 申請日 | - |
公開(公告)號 | CN203474466U | 公開(公告)日 | 2014-03-12 |
申請公布號 | CN203474466U | 申請公布日 | 2014-03-12 |
分類號 | C01B33/035(2006.01)I | 分類 | 無機化學; |
發(fā)明人 | 潘璽;燕軍;崔建平 | 申請(專利權)人 | 內蒙古同遠咨詢集團股份有限公司 |
代理機構 | 北京世譽鑫誠專利代理事務所(普通合伙) | 代理人 | 內蒙古同遠企業(yè)管理咨詢有限責任公司 |
地址 | 017000 內蒙古自治區(qū)鄂爾多斯市東勝區(qū)迎賓路3號街坊9號樓 | ||
法律狀態(tài) | - |
摘要
摘要 | 種西門子法生產(chǎn)多晶硅工藝中還原爐的進料噴嘴,所述的進料噴嘴的下端通過外螺紋固定在還原爐的底盤上,上端開有一中心孔,中心孔為圓柱形的通孔,所述的中心孔的上端進行60度斜角的擴孔,并在中心孔的四周均布有四個螺旋孔;本實用新型中將中心孔做了改進,將中心孔的上端進行了60度斜角的擴孔,這樣就保證了氣體濃度的均勻性,實現(xiàn)了硅棒表面及直徑的均勻性,減少了倒棒現(xiàn)象,還增加了螺旋狀的側孔,螺旋孔會使通過側孔的氣體呈螺旋狀上升,有利于增加硅棒頂部的物料濃度,使硅棒橫梁位置生產(chǎn)的更好,更結實,可以有效的降低生產(chǎn)后期的倒棒現(xiàn)象。 |
