一種四氯化硅制備三氯氫硅的方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201310259404.8 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN103382032A 公開（公告）日 2013-11-06
申請(qǐng)公布號(hào) CN103382032A 申請(qǐng)公布日 2013-11-06
分類號(hào) C01B33/107(2006.01)I 分類 無機(jī)化學(xué);
發(fā)明人 潘璽;燕軍;崔建平 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 內(nèi)蒙古同遠(yuǎn)咨詢集團(tuán)股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京世譽(yù)鑫誠專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 內(nèi)蒙古同遠(yuǎn)企業(yè)管理咨詢有限責(zé)任公司
地址 017000 內(nèi)蒙古自治區(qū)鄂爾多斯市東勝區(qū)迎賓路3號(hào)街坊9號(hào)樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種四氯化硅制備三氯氫硅的方法，涉及一種四氯化硅采用氯氫化方法制備三氯氫硅的方法，本發(fā)明在原有的氯氫化方法的基礎(chǔ)上做了如下改進(jìn)：不加鎳催化劑的金屬硅粉與高溫氮?dú)饨佑|后送入氫化反應(yīng)器中；從氫化反應(yīng)器出來的夾帶有金屬硅粉及金屬氯化物的混合物進(jìn)入干法除塵裝置，被分離出的較大顆粒的金屬硅粉，通過連通管送回氫化反應(yīng)器；將經(jīng)干法除塵裝置處理后，含有細(xì)小顆粒硅粉和金屬氯化物的氯硅烷混合氣，經(jīng)噴淋處理后，將氯硅烷混合氣中金屬氯化物及細(xì)小硅粉完全除去，文丘里除塵器中生成的少量含固狀物的殘液，送至殘液處理裝置；本發(fā)明提供了一種操作簡單方便、連續(xù)穩(wěn)定、節(jié)能降耗的四氯化硅氯氫化的改進(jìn)方法。