光譜芯片和光譜分析裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202121623561.9 申請日 -
公開（公告）號 CN215069988U 公開（公告）日 2021-12-07
申請公布號 CN215069988U 申請公布日 2021-12-07
分類號 H01L27/146（2006.01）I;G01J1/04（2006.01）I;G01J1/42（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 張鴻;黃志雷;王宇 申請（專利權(quán)）人 北京與光科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京唐頌永信知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 劉偉
地址 100083北京市海淀區(qū)王莊路1號清華同方科技大廈D座西樓2211
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請涉及一種光譜芯片和光譜分析裝置，其中，所述光譜芯片以特定的制備工藝制得。具體地，所述制備工藝將形成光調(diào)制結(jié)構(gòu)的工藝轉(zhuǎn)移到襯底上，以一方面擺脫現(xiàn)有的光譜芯片制造工藝受限于晶圓廠的局限，且另一方面可以確保制備過程中不會對所述光譜芯片造成污染。