一種增強(qiáng)太陽(yáng)能背板水蒸氣阻隔性的方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202111104757.1 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN113921631A 公開(kāi)（公告）日 2022-01-11
申請(qǐng)公布號(hào) CN113921631A 申請(qǐng)公布日 2022-01-11
分類號(hào) H01L31/048（2014.01）I;H01L31/049（2014.01）I;C23C16/40（2006.01）I;C23C16/455（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 許佳輝;張圳;柳翠;袁曉 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 上海玻納電子科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海順華專利代理有限責(zé)任公司 代理人 李鴻儒
地址 201102上海市閔行區(qū)蓮花南路2899號(hào)3A號(hào)樓103室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開(kāi)了一種增強(qiáng)太陽(yáng)能背板水蒸氣阻隔性的方法，包括以下步驟：將支撐基材層所用材料放入到原子層沉積設(shè)備中，在支撐基材層的上面沉積無(wú)機(jī)氧化物獲得無(wú)機(jī)氧化物薄膜上層，在支撐基材層的下面沉積無(wú)機(jī)氧化物獲得無(wú)機(jī)氧化物薄膜下層，得到高水蒸氣阻隔性太陽(yáng)能背板支撐基材；然后將高水蒸氣阻隔性太陽(yáng)能背板支撐基材的一面與耐候氟碳薄膜層材料使用粘結(jié)劑進(jìn)行復(fù)合，得到高水蒸氣阻隔性的太陽(yáng)能背板；以市售常規(guī)180微米厚的PET基材為例，其水蒸氣透過(guò)率為1.746g/m2*24h，當(dāng)在其表面進(jìn)行雙面30納米厚的氧化鋁薄膜沉積后，得到的太陽(yáng)背板的水蒸氣透過(guò)率降低到0.005g/m2*24h。