基于有機(jī)晶體管氨氣傳感器芯片及其制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201910170795.3 申請日 -
公開（公告）號 CN109828015B 公開（公告）日 2021-07-06
申請公布號 CN109828015B 申請公布日 2021-07-06
分類號 G01N27/414 分類 測量；測試;
發(fā)明人 石華平;莊昕明;于軍勝;陳德林;陳婷婷 申請（專利權(quán)）人 江蘇友潤微電子有限公司
代理機(jī)構(gòu) 南京蘇科專利代理有限責(zé)任公司 代理人 陳棟智
地址 225000 江蘇省揚(yáng)州市邗江區(qū)西湖鎮(zhèn)甘泉生態(tài)科技園1號樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種基于有機(jī)晶體管氨氣傳感器芯片，傳感器芯片從下到上依次為襯底、柵電極、介電層、半導(dǎo)體層、源電極和漏電極，所述介電層為明膠這種天然生物材料，所述半導(dǎo)體層為三明治結(jié)構(gòu)，其中三明治結(jié)構(gòu)的夾心層為明膠與金屬離子的混合物，本發(fā)明利用明膠這種天然無毒且含量豐富的生物材料，有效杜絕了有毒試劑的使用，同時(shí)由于明膠杰出的介電特性，使得有機(jī)晶體管氨氣傳感器芯片實(shí)現(xiàn)了低電壓驅(qū)動(dòng)，同時(shí)由于生物材料中所含的大量的極化基團(tuán)，提升了有機(jī)場效應(yīng)管的氨氣傳感響應(yīng)，同時(shí)三明治結(jié)構(gòu)中明膠與金屬離子作為夾心層，實(shí)現(xiàn)器件對氨氣的高穩(wěn)定性高靈敏高響應(yīng)探測，可用于氨氣傳感器中。