一種柔性濕度傳感器用鎳鉻-鋁電極圖形制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202010095444.3 申請日 -
公開（公告）號 CN111206245A 公開（公告）日 2020-05-29
申請公布號 CN111206245A 申請公布日 2020-05-29
分類號 C23C30/00;C23F1/02;C23F1/20 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 石華平;黎威志;陳德林 申請（專利權）人 江蘇友潤微電子有限公司
代理機構 南京蘇科專利代理有限責任公司 代理人 江蘇友潤微電子有限公司
地址 225000 江蘇省揚州市邗江區(qū)西湖鎮(zhèn)甘泉生態(tài)科技園
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種柔性濕度傳感器用鎳鉻?鋁電極圖形制備方法，包括以下步驟：將硅或玻璃襯底徹底清洗干燥；在襯底上沉積一薄層鋁；旋涂正性光刻膠并低溫烘烤幾分鐘；光刻膠采用互補的負光刻版曝光以形成引出端和電極圖形；顯影，然后用磷酸腐蝕暴露出的鋁；在丙酮中去除光刻膠，此時襯底上除了電極和引出端圖形區(qū)外，其他區(qū)域都覆蓋了鋁薄膜；襯底徹底清洗干燥后連續(xù)沉積一層鎳鉻薄膜和鋁薄膜，沉積過程中襯底不加溫；旋涂正性光刻膠并低溫烘烤幾分鐘；采用正性光刻版圖曝光形成引出端圖形并顯影；用磷酸刻蝕暴露的鋁薄膜；襯底在去離子水中徹底清洗后，用丙酮去掉光刻膠，形成鎳鉻電極圖形，本發(fā)明工藝簡單、成本低。