基于有機(jī)晶體管的二氧化氮傳感器芯片及其制備方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201910170437.2 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN109900763A 公開(kāi)（公告）日 2021-06-25
申請(qǐng)公布號(hào) CN109900763A 申請(qǐng)公布日 2021-06-25
分類號(hào) G01N27/414 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 陳德林;莊昕明;于軍勝;石華平;張海民 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 江蘇友潤(rùn)微電子有限公司
代理機(jī)構(gòu) 南京蘇科專利代理有限責(zé)任公司 代理人 陳棟智
地址 225000 江蘇省揚(yáng)州市邗江區(qū)西湖鎮(zhèn)甘泉生態(tài)科技園1號(hào)樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開(kāi)了一種基于有機(jī)晶體管二氧化氮傳感器芯片及其制備方法，所述有機(jī)晶體管從上到下依次為襯底、柵電極、介電層、半導(dǎo)體層、源電極和漏電極，所述介電層為高介電常數(shù)的生物材料或者含氟材料，所述半導(dǎo)體層為半導(dǎo)體材料與介電材料的混合物，所述半導(dǎo)體層為通過(guò)電場(chǎng)調(diào)控雙溶劑體系而形成的；本發(fā)明通過(guò)電場(chǎng)調(diào)控雙溶劑體系的半導(dǎo)體材料實(shí)現(xiàn)了半導(dǎo)體層的定向結(jié)晶性，從而提升了傳感器芯片的性能及其對(duì)二氧化氮的檢測(cè)能力，雙溶劑體系的半導(dǎo)體層是半導(dǎo)體材料與介電材料混合物，一方面保護(hù)了電場(chǎng)調(diào)控過(guò)程中對(duì)半導(dǎo)體材料的損害，另一方面混合雙溶劑體系更容易形成高度取向性的半導(dǎo)體層，有效地提升了傳感器芯片的性能，可用于二氧化氮傳感器中。