一種可防止尾氣沉積的PECVD用分子泵

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201921017641.2 申請日 -
公開（公告）號 CN210343849U 公開（公告）日 2020-04-17
申請公布號 CN210343849U 申請公布日 2020-04-17
分類號 F04D29/30;F04D29/70;F04D29/00;C23C16/50;C23C16/54 分類 液體變?nèi)菔綑C(jī)械；液體泵或彈性流體泵;
發(fā)明人 黃達(dá);王寵;黃尚鴻;張士強(qiáng);劉振輝 申請（專利權(quán)）人 上海樂凱新材料科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 石家莊冀科專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 代理人 李羨民;高錫明
地址 071054 河北省保定市樂凱南大街6號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型涉及一種可防止尾氣沉積的PECVD用分子泵，包括分子泵本體、真空進(jìn)氣管路，在真空進(jìn)氣管路中設(shè)置尾氣吸附機(jī)構(gòu)，所述尾氣吸附機(jī)構(gòu)由箍圈、氣路柵格和金屬網(wǎng)組成。本實(shí)用新型未反應(yīng)的尾氣經(jīng)過吸附裝置時，在其表面繼續(xù)沉積成固體鍍層，從而減少到達(dá)分子泵內(nèi)部的未反應(yīng)尾氣的含量并削弱尾氣中的能量，減緩分子泵內(nèi)壁及渦輪葉片上雜質(zhì)鍍層的沉積速度，能夠在一定程度上保護(hù)分子泵，延長分子泵的使用周期。