一種可連續(xù)大面積均勻化學(xué)氣相沉積的噴頭系統(tǒng)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN200810072222.9 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN101492812B 公開(kāi)（公告）日 2011-03-23
申請(qǐng)公布號(hào) CN101492812B 申請(qǐng)公布日 2011-03-23
分類(lèi)號(hào) C23C16/44(2006.01)I;C23C16/30(2006.01)I 分類(lèi) 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 鄭玉祥;周均;范紅兵;陳飛;趙國(guó)旭 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 招商局漳州開(kāi)發(fā)區(qū)絲路新能源有限公司
代理機(jī)構(gòu) 廈門(mén)市新華專(zhuān)利商標(biāo)代理有限公司 代理人 招商局漳州開(kāi)發(fā)區(qū)創(chuàng)大太陽(yáng)能有限公司;招商局漳州開(kāi)發(fā)區(qū)創(chuàng)達(dá)太陽(yáng)能科技有限公司
地址 363000 福建省漳州市招商局漳州開(kāi)發(fā)區(qū)湯洋工業(yè)園三號(hào)通用廠房2樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開(kāi)一種可連續(xù)大面積均勻化學(xué)氣相沉積的噴頭系統(tǒng)，包括輸送管路、固定面板、安裝在固定面板上部的一次反應(yīng)氣體混合腔體、安裝在固定面板下部的噴管，噴管具有噴氣口，在固定面板的上部還安裝了循環(huán)水冷卻系統(tǒng)，在固定面板的下部還安裝了二次反應(yīng)氣體混合腔體，噴管罩在二次反應(yīng)氣體混合腔體中，二次反應(yīng)氣體混合腔體的橫截面呈“V”字型，二次反應(yīng)氣體混合腔體的底部開(kāi)有單縫隙噴嘴，原料氣體經(jīng)由輸送管路進(jìn)入一次反應(yīng)氣體混合腔體，再進(jìn)入噴管中，然后從噴管的噴氣口噴出后進(jìn)入二次反應(yīng)氣體混合腔體，最后由單縫隙噴嘴噴出。此系統(tǒng)可以降低沉積溫度，使大面積沉積時(shí)薄膜的均勻性容易控制，以保證連續(xù)大規(guī)模生產(chǎn)的正常進(jìn)行。