一種芯片檢測(cè)裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202021861839.1 申請(qǐng)日 -
公開(公告)號(hào) CN212780540U 公開(公告)日 2021-03-23
申請(qǐng)公布號(hào) CN212780540U 申請(qǐng)公布日 2021-03-23
分類號(hào) G01N21/84(2006.01)I;G01N21/01(2006.01)I 分類 測(cè)量;測(cè)試;
發(fā)明人 禹乾勛 申請(qǐng)(專利權(quán))人 深圳市華宇福保半導(dǎo)體有限公司
代理機(jī)構(gòu) 深圳市宏德雨知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 代理人 李捷
地址 518000廣東省深圳市福田區(qū)福保街道福保社區(qū)市花路25號(hào)利保義生物工程大樓六層B井,E井廠房
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種芯片檢測(cè)裝置,包括承載板和檢測(cè)裝置,承載板的頂部固定有U形架,U形架的底部安裝有X軸直線電機(jī),X軸直線電機(jī)的輸出軸固定連接有Y軸直線電機(jī),Y軸直線電機(jī)的輸出軸固定連接有氣缸,氣缸的輸出軸固定連接有安裝架,安裝架內(nèi)側(cè)陣列式設(shè)有若干個(gè)吸取裝置,安裝架上安裝有用于縱橫雙向調(diào)節(jié)吸取裝置的調(diào)節(jié)裝置,承載板的頂部設(shè)有放置槽,放置槽內(nèi)放置有芯片中載盤,此芯片檢測(cè)裝置,吸取裝置被X軸和Y軸方向均被等距調(diào)節(jié),使待檢測(cè)芯片移動(dòng)到正對(duì)CCD相機(jī)處,通過(guò)CCD相機(jī)對(duì)檢測(cè)芯片進(jìn)行拍照檢測(cè),該芯片檢測(cè)裝置一次能夠檢測(cè)所有中載盤內(nèi)的芯片,檢測(cè)效率比較高。??