一種高性能濾光片生產(chǎn)加工工藝方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110073748.4 申請日 -
公開（公告）號 CN112921274A 公開（公告）日 2021-06-08
申請公布號 CN112921274A 申請公布日 2021-06-08
分類號 C23C14/10;C23C14/08;C23C14/32;C23C14/02;G02B5/28;B29D11/00 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 增田清志;增田博志;王立新 申請（專利權(quán)）人 蘇州京浜光電科技股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 蘇州圓融專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 郭珊珊
地址 215501 江蘇省蘇州市常熟經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)高新技術(shù)園柳州路7號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種高性能濾光片生產(chǎn)加工工藝方法，包括以下步驟：S1：基板的選擇：選擇樹脂薄膜材料作為基板；S2：基板的切割處理：采用沖壓設(shè)備進(jìn)行沖壓成型；S3：鍍膜材料的選擇：選擇氧化硅和氧化鈦?zhàn)鳛殄兡げ牧?；S4：將基板使用離子風(fēng)槍進(jìn)行表面惰性氣體除靜電吹淋清潔；S5：鍍膜工裝夾具的處理：鍍膜工裝夾具在裝夾鍍膜基板前進(jìn)行高溫烘烤和離子除靜電處理；S6：真空蒸鍍處理：采用表面真空IAD輔助蒸鍍；S7：分光性能檢驗(yàn)：采用雙光束測定方式對半成品的波長進(jìn)行測定，將合格產(chǎn)品和不合格產(chǎn)品分類存放。本發(fā)明，工藝流程設(shè)計精煉高效，生產(chǎn)出的產(chǎn)品濾光性能好，品質(zhì)穩(wěn)定。