一種光學(xué)濾光片薄膜厚度的監(jiān)控方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202011526862.X 申請日 -
公開（公告）號 CN112710244A 公開（公告）日 2021-04-27
申請公布號 CN112710244A 申請公布日 2021-04-27
分類號 G01B11/06 分類 測量；測試;
發(fā)明人 增田博志;賀力偉 申請（專利權(quán)）人 蘇州京浜光電科技股份有限公司
代理機構(gòu) 蘇州圓融專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 郭珊珊
地址 215500 江蘇省蘇州市常熟經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)高新技術(shù)園柳州路7號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種光學(xué)濾光片薄膜厚度的監(jiān)控方法，包括以下步驟：提供彩色濾光片；在彩色濾光片的基板的表面覆蓋透明有機薄膜；通過橢圓偏光法測量在參考物體上的薄膜厚度；照明光照射參考物體及測量物體，以獲得來自參考物體及測量物體的反射光的各自的光譜強度；基于參考物體上的所述薄膜的所述厚度，計算參考物體的光譜反射系數(shù)，并參照參考物體的光譜反射系數(shù)獲得測量物體的光譜反射系數(shù)；根據(jù)測量物體的光譜反射系數(shù)獲得測量物體上的薄膜的厚度。本發(fā)明，檢測設(shè)備簡單；且檢測精度高。