一種光學(xué)濾光片薄膜厚度的監(jiān)控方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202011526862.X | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN112710244A | 公開(kāi)（公告）日 | 2021-04-27 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN112710244A | 申請(qǐng)公布日 | 2021-04-27 |
| 分類(lèi)號(hào) | G01B11/06 | 分類(lèi) | 測(cè)量；測(cè)試; |
| 發(fā)明人 | 增田博志;賀力偉 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 蘇州京浜光電科技股份有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 蘇州圓融專(zhuān)利代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 郭珊珊 |
| 地址 | 215500 江蘇省蘇州市常熟經(jīng)濟(jì)開(kāi)發(fā)區(qū)高新技術(shù)園柳州路7號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明公開(kāi)了一種光學(xué)濾光片薄膜厚度的監(jiān)控方法，包括以下步驟：提供彩色濾光片；在彩色濾光片的基板的表面覆蓋透明有機(jī)薄膜；通過(guò)橢圓偏光法測(cè)量在參考物體上的薄膜厚度；照明光照射參考物體及測(cè)量物體，以獲得來(lái)自參考物體及測(cè)量物體的反射光的各自的光譜強(qiáng)度；基于參考物體上的所述薄膜的所述厚度，計(jì)算參考物體的光譜反射系數(shù)，并參照參考物體的光譜反射系數(shù)獲得測(cè)量物體的光譜反射系數(shù)；根據(jù)測(cè)量物體的光譜反射系數(shù)獲得測(cè)量物體上的薄膜的厚度。本發(fā)明，檢測(cè)設(shè)備簡(jiǎn)單；且檢測(cè)精度高。 |
