以雙氧水為反應(yīng)物的超臨界流體處理氧化鈮選通管的方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202210335342.3 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN114695659A | 公開（公告）日 | 2022-07-01 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN114695659A | 申請(qǐng)公布日 | 2022-07-01 |
| 分類號(hào) | H01L45/00（2006.01）I | 分類 | 基本電氣元件; |
| 發(fā)明人 | 馬國(guó)坤;何哲;陳大磊;王浩 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 湖北大學(xué) |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京金智普華知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | - |
| 地址 | 430062湖北省武漢市武昌區(qū)友誼大道368號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明提供了一種以雙氧水為反應(yīng)物的超臨界流體處理氧化鈮選通管的方法，包括以下步驟：將氧化鈮選通管置于反應(yīng)腔體內(nèi)，向反應(yīng)腔體內(nèi)加入水和雙氧水；向反應(yīng)腔體內(nèi)通入超臨界二氧化碳流體，控制反應(yīng)腔體內(nèi)的壓力為2800～3200psi、溫度為110～130℃，反應(yīng)時(shí)間為1～2h。本發(fā)明的方法，采用超臨界二氧化碳流體技術(shù)，使用雙氧水和去離子水共同作為反應(yīng)性物質(zhì)，對(duì)已制備好的摻鈦氧化鈮選通管進(jìn)行處理，成功降低了器件的OFF態(tài)電流，大幅提高了選通比。由于雙氧水具有比去離子水更好的氧化性，相比單獨(dú)使用去離子水作為反應(yīng)物質(zhì)，采用雙氧水和去離子水共同作為反應(yīng)性物質(zhì)可以更好地鈍化材料和器件內(nèi)部以及不同材料界面處的缺陷。 |
