以雙氧水為反應物的超臨界流體處理氧化鈮選通管的方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202210335342.3 申請日 -
公開（公告）號 CN114695659A 公開（公告）日 2022-07-01
申請公布號 CN114695659A 申請公布日 2022-07-01
分類號 H01L45/00（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 馬國坤;何哲;陳大磊;王浩 申請（專利權）人 湖北大學
代理機構 北京金智普華知識產權代理有限公司 代理人 -
地址 430062湖北省武漢市武昌區(qū)友誼大道368號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種以雙氧水為反應物的超臨界流體處理氧化鈮選通管的方法，包括以下步驟：將氧化鈮選通管置于反應腔體內，向反應腔體內加入水和雙氧水；向反應腔體內通入超臨界二氧化碳流體，控制反應腔體內的壓力為2800～3200psi、溫度為110～130℃，反應時間為1～2h。本發(fā)明的方法，采用超臨界二氧化碳流體技術，使用雙氧水和去離子水共同作為反應性物質，對已制備好的摻鈦氧化鈮選通管進行處理，成功降低了器件的OFF態(tài)電流，大幅提高了選通比。由于雙氧水具有比去離子水更好的氧化性，相比單獨使用去離子水作為反應物質，采用雙氧水和去離子水共同作為反應性物質可以更好地鈍化材料和器件內部以及不同材料界面處的缺陷。