一種含微量元素的大管徑Ni-V旋轉(zhuǎn)靶材及其制備方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> PCT/CN2019/108213 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) WO2021046928A1 公開(kāi)（公告）日 2021-03-18
申請(qǐng)公布號(hào) WO2021046928A1 申請(qǐng)公布日 2021-03-18
分類號(hào) C23C14/35;C22C1/02;C22C19/03;C22F1/10 分類 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 WU, YUNING;吳宇寧;QING, HAIBIAO;卿海標(biāo);ZHOU, QIGANG;周其剛 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 南京達(dá)邁科技實(shí)業(yè)股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 NANJING RUIZHIBO INTELLECTUAL PROPERTY AGENCY CO., LTD.;南京睿之博知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司
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法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開(kāi)了一種含微量元素的大管徑Ni-V旋轉(zhuǎn)靶材及其制備方法，旋轉(zhuǎn)靶材包括按質(zhì)量百分比計(jì)的如下組分：C 0.01～0.05％，B 0.01～0.08％，Ti 0.001～0.006％，Mg 0.01～0.05％，V 6～8％以及余量Ni和不可避免的雜質(zhì)。制備步驟依次采用真空熔煉、熱鍛、機(jī)加工、熱擠壓、酸洗處理、固溶處理、冷軋或鏜孔、退火處理、機(jī)加工或綁定。本發(fā)明在Ni-V的基礎(chǔ)上，添加微量的元素C、B、Ti、Mg進(jìn)行成分優(yōu)化，降低氧、硫等含量，且能抑制裂紋的萌生，提高靶材的晶界結(jié)合力、強(qiáng)度，并細(xì)化晶粒，從而提高成材率；通過(guò)優(yōu)選熱加工工藝參數(shù)，降低了廢品率。