一種含微量元素的大管徑Ni-Cr旋轉(zhuǎn)靶材及其制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> PCT/CN2019/108215 申請日 -
公開（公告）號 WO2021046929A1 公開（公告）日 2021-03-18
申請公布號 WO2021046929A1 申請公布日 2021-03-18
分類號 C23C14/35;C22C19/05;C22C1/02;C22F1/10;B21C37/06 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 WU, YUNING;吳宇寧;QING, HAIBIAO;卿海標;ZHOU, QIGANG;周其剛 申請（專利權(quán)）人 南京達邁科技實業(yè)股份有限公司
代理機構(gòu) - 代理人 NANJING RUIZHIBO INTELLECTUAL PROPERTY AGENCY CO., LTD.;南京睿之博知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司
地址 379 Pugang ST, Jiangning Economic Development Zone,Nanjing, Jiangsu 211102 CN
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種含微量元素的大管徑Ni-Cr旋轉(zhuǎn)靶材，包括按質(zhì)量百分比計的如下原料組分：C 0.01～0.05％，B 0.02～0.08％，Zr 0.01～0.06％，Mg 0.05～0.1％，Cr 7～44％以及余量Ni和不可避免的雜質(zhì)。還包括一種含微量元素的大管徑Ni-Cr旋轉(zhuǎn)靶材的制備方法。