一種極低殘余反射的窄帶減反射膜

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110002969.2 申請日 -
公開（公告）號 CN112764135A 公開（公告）日 2021-05-07
申請公布號 CN112764135A 申請公布日 2021-05-07
分類號 G02B1/10(2015.01)I;G02B1/16(2015.01)I;G02B1/116(2015.01)I 分類 -
發(fā)明人 金波;艾曼靈;李冰霞;吳江波;顧培夫 申請（專利權(quán)）人 杭州科汀光學(xué)技術(shù)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 杭州求是專利事務(wù)所有限公司 代理人 陳升華
地址 311100浙江省杭州市余杭經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)天荷路21號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種極低殘余反射的窄帶減反射膜，包括基底以及設(shè)置在基底上的多層膜。多層膜由依次設(shè)置在基底上的導(dǎo)納匹配膜堆、色散補(bǔ)償膜和增透膜構(gòu)成?；诪檎凵渎?.45至1.90的光學(xué)玻璃或光學(xué)塑料。導(dǎo)納匹配膜堆層數(shù)為7～11層，由Al2O3和TiO2膜交替組成，最后一層為SiO2膜。色散補(bǔ)償膜亦為SiO2單層膜。增透膜依次由TiO2和MgF2雙層膜組成，或?qū)轨o電防塵增透膜依次由TiO2、ITO透明導(dǎo)電膜和MgF2膜組成。ITO透明導(dǎo)電膜為銦錫氧化物膜。多層膜系的極低殘余反射的波長域?yàn)?50～662nm。這種極低殘余反射的窄帶減反射膜無論對光學(xué)系統(tǒng)還是激光系統(tǒng)都有極其重要的應(yīng)用價(jià)值。??