一種低應(yīng)力的多層薄膜濾光片
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN202020617231.8 | 申請日 | - |
| 公開（公告）號 | CN211786204U | 公開（公告）日 | 2020-10-27 |
| 申請公布號 | CN211786204U | 申請公布日 | 2020-10-27 |
| 分類號 | G02B5/28(2006.01)I | 分類 | 光學(xué); |
| 發(fā)明人 | 吳江波;劉璐;艾曼靈;金波;鄭臻榮;顧培夫 | 申請（專利權(quán)）人 | 杭州科汀光學(xué)技術(shù)有限公司 |
| 代理機構(gòu) | 杭州求是專利事務(wù)所有限公司 | 代理人 | 杭州科汀光學(xué)技術(shù)有限公司 |
| 地址 | 311100浙江省杭州市余杭經(jīng)濟開發(fā)區(qū)天荷路21號 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實用新型公開一種低應(yīng)力的多層薄膜濾光片，包括基底及設(shè)置在基底上的多層薄膜濾光片?；诪?.3硼硅玻璃，多層薄膜濾光片為雙半波窄帶干涉濾光片，其中心波長為1060nm，總物理膜厚為4800nm。3.3硼硅玻璃的線膨脹系數(shù)為3.3×10?6/度；高、低折射率膜分別為TiO2和SiO2，其線膨脹系數(shù)分別為2～2.5×10?6/度和0.7×10?6/度。為減小濾光片的結(jié)累應(yīng)力，采用基底加熱和離子輔助兩種技術(shù)。這種低應(yīng)力的薄膜濾光片可廣泛應(yīng)用于各種光電儀器。?? |
