一種具有半封閉原胞的絕緣柵雙極型晶體管器件結(jié)構(gòu)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201610840694.9 申請日 -
公開（公告）號 CN107863383B 公開（公告）日 2021-05-07
申請公布號 CN107863383B 申請公布日 2021-05-07
分類號 H01L21/331(2006.01)I;H01L29/417(2006.01)I;H01L29/739(2006.01)I;H01L29/423(2006.01)I 分類 -
發(fā)明人 李宇柱 申請（專利權(quán)）人 常州中明半導(dǎo)體技術(shù)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 南京正聯(lián)知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 黃智明
地址 213200江蘇省常州市金壇經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)華城路1668號國際工業(yè)城
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種具有半封閉原胞的絕緣柵雙極型晶體管器件結(jié)構(gòu)，頂部包括有源溝槽和虛擬溝槽兩種溝槽；有源溝槽和虛擬溝槽組成半封閉的結(jié)構(gòu)；有源溝槽和虛擬溝槽之間有縫隙；所有溝槽都至少穿透了部分CS層到達(dá)N?漂移層，并在部分N?漂移層中延伸一段距離；CS層的上方是P型基區(qū)；P型基區(qū)上面還設(shè)有N+發(fā)射區(qū)和P+接觸區(qū)，并通過接觸窗口和發(fā)射極電極相連。??