控制高溫結(jié)晶爐內(nèi)熔硅結(jié)晶速度的水冷卻裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN02217259.9 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN2592657Y 公開（公告）日 2003-12-17
申請(qǐng)公布號(hào) CN2592657Y 申請(qǐng)公布日 2003-12-17
分類號(hào) C30B9/04 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 昌金銘;唐駿;吳建榮 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 中國科技開發(fā)院浙江分院有限公司
代理機(jī)構(gòu) 浙江杭州金通專利事務(wù)所有限公司 代理人 陳向群
地址 310012浙江省杭州市文二路218號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型屬于工業(yè)高溫爐的循環(huán)水冷卻技術(shù)領(lǐng)域，特別是涉及一種控制高溫結(jié)晶爐內(nèi)熔硅結(jié)晶速度的水冷卻裝置；它包括單循環(huán)水冷卻裝置和制冷機(jī)構(gòu)，所述單循環(huán)水冷卻裝置由冷卻塔、水箱、冷卻水分配器、泵和冷卻連接管構(gòu)成，所述冷卻水分配器的輸出接口和回水接口上設(shè)有能與高溫結(jié)晶爐相連接的冷卻連接管，其特征在于所述制冷機(jī)構(gòu)的冷卻連接管與坩堝托架相連通。本實(shí)用新型能對(duì)坩堝和托架部位的溫度進(jìn)行調(diào)節(jié)，并能在坩堝和托架部位建立穩(wěn)定的溫度場(chǎng)，而且其結(jié)構(gòu)簡單、設(shè)計(jì)合理、使用方便、并具有降低能耗和提高多晶硅錠品質(zhì)的效果。