一種基于主動熵采樣和模型校準的低代價光刻熱點檢測方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110934335.0 申請日 -
公開（公告）號 CN113674235A 公開（公告）日 2021-11-19
申請公布號 CN113674235A 申請公布日 2021-11-19
分類號 G06T7/00（2017.01）I;G06K9/62（2006.01）I;G06N3/04（2006.01）I;G06N3/06（2006.01）I;G06N3/08（2006.01）I 分類 計算；推算；計數(shù);
發(fā)明人 羅立軒;宿淼迪;丁鴻志;翁紹鴻;陳憶鷺;鄒長忠 申請（專利權(quán)）人 上海立芯軟件科技有限公司
代理機構(gòu) 福州元創(chuàng)專利商標代理有限公司 代理人 陳明鑫;蔡學(xué)俊
地址 201306上海市浦東新區(qū)中國（上海）自由貿(mào)易試驗區(qū)臨港新片區(qū)云漢路979號2樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種基于主動熵采樣和模型校準的低代價光刻熱點檢測方法，設(shè)計了一種新穎的不確定度評估方式，能夠選擇具有較高不確定性的熱點樣本加入擴展訓(xùn)練集，從而有效提高模型檢測的精度。在采樣過程中應(yīng)用了高效的多樣性衡量方式，避免求解復(fù)雜的凸優(yōu)化方程，與已有方法相比具有更低的計算開銷和錯誤率。提出了一種基于熵的權(quán)重分配策略，根據(jù)信息量動態(tài)對指標進行加權(quán)，能夠綜合評估不確定度和多樣性的因素。本發(fā)明能夠?qū)崿F(xiàn)了較好的檢測精度，并有效降低了平刻模擬開銷。