一種MO源瓶支架裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201921330901.1 申請(qǐng)日 -
公開(公告)號(hào) CN210560737U 公開(公告)日 2020-05-19
申請(qǐng)公布號(hào) CN210560737U 申請(qǐng)公布日 2020-05-19
分類號(hào) C23C16/448;C23C16/18 分類 對(duì)金屬材料的鍍覆;用金屬材料對(duì)材料的鍍覆;表面化學(xué)處理;金屬材料的擴(kuò)散處理;真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆;金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 施文貞 申請(qǐng)(專利權(quán))人 福州中科光芯科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 福州元?jiǎng)?chuàng)專利商標(biāo)代理有限公司 代理人 陸帥;蔡學(xué)俊
地址 350000 福建省福州市鼓樓區(qū)軟件大道89號(hào)福州軟件園E區(qū)14號(hào)樓4層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型涉及一種MO源瓶支架裝置,包括支架框,支架框上設(shè)置有豎直截面形狀為“L”字形的MO源瓶支撐座。該MO源瓶支架裝置的結(jié)構(gòu)簡單,放置方便,采用奧氏體不銹鋼結(jié)構(gòu),隨MO源瓶浸泡水中,不需要取出,不易生銹,精致小巧,可放置于水浴槽中間,將新裝的MO源瓶緊貼著MO源瓶支撐座的垂直面安裝,即可保證MO源瓶垂直不易傾斜,大大改善了MO源瓶傾斜與偏離的問題。