晶圓重定位方法及其系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201911146167.8 申請日 -
公開（公告）號 CN110927549A 公開（公告）日 2020-03-27
申請公布號 CN110927549A 申請公布日 2020-03-27
分類號 G01R31/26;G01B11/00 分類 測量；測試;
發(fā)明人 馬勇;彭良寶;張偉;門洪達(dá) 申請（專利權(quán)）人 廣西天微電子有限公司
代理機(jī)構(gòu) 廣州華進(jìn)聯(lián)合專利商標(biāo)代理有限公司 代理人 石慧
地址 542800 廣西壯族自治區(qū)賀州市生態(tài)產(chǎn)業(yè)園標(biāo)準(zhǔn)廠房三期3號樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種晶圓重定位方法，包括獲取校準(zhǔn)晶圓的第一標(biāo)記晶粒的坐標(biāo)和圖像校準(zhǔn)數(shù)據(jù)；根據(jù)所述校準(zhǔn)數(shù)據(jù)，獲取測試晶圓的第一近心焊盤的第一坐標(biāo)信息；基于所述第一坐標(biāo)信息，建立測試MAP圖坐標(biāo)系；根據(jù)所述校準(zhǔn)數(shù)據(jù)、第一坐標(biāo)信息和重定位晶圓的第二圓心的坐標(biāo)，獲取重定位晶圓的第二近心焊盤的第二坐標(biāo)信息；基于所述第二坐標(biāo)信息，建立重定位MAP圖坐標(biāo)系。本發(fā)明通過坐標(biāo)和圖像的雙重對準(zhǔn)，快速準(zhǔn)確地識(shí)別標(biāo)記晶粒、近心焊盤等目標(biāo)點(diǎn)，進(jìn)而保證了晶圓實(shí)物和MAP坐標(biāo)系之間的精準(zhǔn)對應(yīng)關(guān)系，該精準(zhǔn)對應(yīng)關(guān)系進(jìn)一步提高了晶圓重定位時(shí)對準(zhǔn)的精確度，從而實(shí)現(xiàn)了一種效率高、可靠性好的全自動(dòng)重新定位對準(zhǔn)的晶圓重定位方法及其系統(tǒng)。