芯片檢測方法、裝置、電子設(shè)備和計算機(jī)可讀存儲介質(zhì)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202010184821.0 申請日 -
公開（公告）號 CN111370345A 公開（公告）日 2020-07-03
申請公布號 CN111370345A 申請公布日 2020-07-03
分類號 H01L21/66 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 蘇春琪;劉宇航;張偉;門洪達(dá) 申請（專利權(quán)）人 廣西天微電子有限公司
代理機(jī)構(gòu) 廣州華進(jìn)聯(lián)合專利商標(biāo)代理有限公司 代理人 羅平
地址 542800 廣西壯族自治區(qū)賀州市生態(tài)產(chǎn)業(yè)園標(biāo)準(zhǔn)廠房三期3號樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種芯片檢測方法、裝置、電子設(shè)備和計算機(jī)可讀存儲介質(zhì)，所述芯片檢測方法包括：獲取待檢測芯片的第一圖像；調(diào)整所述第一圖像的角度以獲取第二圖像，所述第二圖像中待檢測芯片的設(shè)定列引腳沿設(shè)定的方向排列；修正所述第二圖像中的引腳反光區(qū)域以獲取第三圖像；根據(jù)所述第三圖像攜帶的引腳參數(shù)信息獲取待檢測芯片的引腳檢測結(jié)果。本發(fā)明通過調(diào)整所述第一圖像的角度，降低了圖片拍攝時芯片位置的偏差導(dǎo)致外觀檢測結(jié)果錯誤的風(fēng)險；并通過修正所述第二圖像中的引腳區(qū)域，有效避免了反光區(qū)域中的倒影引腳對引腳長度檢測結(jié)果的影響。因此，本發(fā)明實現(xiàn)了一種檢測效率高、出錯率低的芯片外觀自動檢測方法。