金屬膜膜厚量測(cè)系統(tǒng)及采用該系統(tǒng)進(jìn)行膜厚量測(cè)的方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201410729392.5 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN104390580B | 公開（公告）日 | 2018-06-22 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN104390580B | 申請(qǐng)公布日 | 2018-06-22 |
| 分類號(hào) | G01B7/06 | 分類 | 測(cè)量；測(cè)試; |
| 發(fā)明人 | 黃仁東 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 上海華虹（集團(tuán)）有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 上海天辰知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（特殊普通合伙） | 代理人 | 上海集成電路研發(fā)中心有限公司;上海華虹（集團(tuán)）有限公司 |
| 地址 | 201210 上海市浦東新區(qū)張江高斯路497號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明涉及一種金屬膜膜厚量測(cè)系統(tǒng)及采用該系統(tǒng)進(jìn)行膜厚量測(cè)的方法，該方法需要特定的金屬膜膜厚的量測(cè)系統(tǒng)完成的，即將金屬膜的厚度通過(guò)附加電極板和電源形成電路的方式，形成電容式模型電路等效結(jié)構(gòu)，最終將反映到電容式模型電路等效結(jié)構(gòu)中等效電容電壓的變化，使得通過(guò)檢測(cè)等效電容電壓的變化來(lái)對(duì)金屬膜厚度的量測(cè)成為可能。首先需要對(duì)整個(gè)膜厚測(cè)試系統(tǒng)進(jìn)行標(biāo)定,建立不同膜厚和電壓的關(guān)系，然后再進(jìn)行未知厚度的金屬薄膜進(jìn)行測(cè)量；即其通過(guò)采用已知的不同厚度的某金屬薄膜樣品進(jìn)行標(biāo)定，得到該類金屬薄膜與電壓的關(guān)系對(duì)照表，進(jìn)而就能夠?qū)υ擃愇粗穸鹊慕饘俦∧みM(jìn)行測(cè)量。本發(fā)明實(shí)現(xiàn)了另一種全新的量測(cè)手段，技術(shù)實(shí)現(xiàn)簡(jiǎn)單，量測(cè)精度高。 |
