金屬膜膜厚量測系統(tǒng)及采用該系統(tǒng)進(jìn)行膜厚量測的方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201410729392.5 申請日 -
公開（公告）號 CN104390580B 公開（公告）日 2018-06-22
申請公布號 CN104390580B 申請公布日 2018-06-22
分類號 G01B7/06 分類 測量；測試;
發(fā)明人 黃仁東 申請（專利權(quán)）人 上海華虹（集團(tuán)）有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海天辰知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（特殊普通合伙） 代理人 上海集成電路研發(fā)中心有限公司;上海華虹（集團(tuán)）有限公司
地址 201210 上海市浦東新區(qū)張江高斯路497號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種金屬膜膜厚量測系統(tǒng)及采用該系統(tǒng)進(jìn)行膜厚量測的方法，該方法需要特定的金屬膜膜厚的量測系統(tǒng)完成的，即將金屬膜的厚度通過附加電極板和電源形成電路的方式，形成電容式模型電路等效結(jié)構(gòu)，最終將反映到電容式模型電路等效結(jié)構(gòu)中等效電容電壓的變化，使得通過檢測等效電容電壓的變化來對金屬膜厚度的量測成為可能。首先需要對整個膜厚測試系統(tǒng)進(jìn)行標(biāo)定,建立不同膜厚和電壓的關(guān)系，然后再進(jìn)行未知厚度的金屬薄膜進(jìn)行測量；即其通過采用已知的不同厚度的某金屬薄膜樣品進(jìn)行標(biāo)定，得到該類金屬薄膜與電壓的關(guān)系對照表，進(jìn)而就能夠?qū)υ擃愇粗穸鹊慕饘俦∧みM(jìn)行測量。本發(fā)明實現(xiàn)了另一種全新的量測手段，技術(shù)實現(xiàn)簡單，量測精度高。