一種氧化鎵粉末的快速干燥裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201910069351.0 申請日 -
公開（公告）號 CN109612227B 公開（公告）日 2019-04-12
申請公布號 CN109612227B 申請公布日 2019-04-12
分類號 F26B11/00(2006.01)I 分類 干燥;
發(fā)明人 董穎男;唐美玲;畢孝國;牛微;唐堅;李珊珊 申請（專利權(quán)）人 沈陽鑫譜晶體科技有限公司
代理機構(gòu) 北京君泊知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 王程遠
地址 110136遼寧省沈陽市沈北新區(qū)蒲昌路18號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種氧化鎵粉末的快速干燥裝置，包括干燥罐，所述干燥罐頂端安裝有罐蓋，所述泵機進氣管一端通過螺紋嚙合連接有主三通閥，所述主三通閥一端安裝有罐體進氣管，所述主三通閥剩余一端安裝有連接管，所述連接管一端安裝有副三通閥，本發(fā)明結(jié)構(gòu)科學(xué)合理，使用安全方便，通過主三通閥和副三通閥的調(diào)節(jié)，使得真空泵先將干燥管內(nèi)氣體抽出，并注入惰性氣體，通過惰性氣體在腔室內(nèi)保護氧化鎵粉末，減少氧化鎵粉末干燥過程中可能混入的雜質(zhì)，確保氧化鎵粉末純度不會受到外界雜質(zhì)的污染，同時也保證干燥罐內(nèi)部氣壓和外部氣壓保持平衡，解決了現(xiàn)有的干燥罐長時間保持真空狀態(tài)，容易出現(xiàn)罐壁損壞的情況。??