一種等離子法數(shù)控晶體生長爐

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201821824791.X 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN209338698U 公開（公告）日 2019-09-03
申請(qǐng)公布號(hào) CN209338698U 申請(qǐng)公布日 2019-09-03
分類號(hào) C30B11/10（2006.01）I; C30B29/16（2006.01）I; C30B30/00（2006.01）I 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 畢孝國; 唐堅(jiān); 董穎男; 劉旭東; 孫旭東; 牛微 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 沈陽鑫譜晶體科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 沈陽銘揚(yáng)聯(lián)創(chuàng)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 呂敏
地址 110136 遼寧省沈陽市沈北新區(qū)蒲昌路18號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種等離子法數(shù)控晶體生長爐，屬于新材料技術(shù)領(lǐng)域。包括晶體生長裝置，其晶體生長基座端用于放置籽晶；等離子發(fā)生裝置置于晶體生長裝置的晶體生長室頂部，一端與晶體生長室相通，另一端連接原料供應(yīng)裝置；原料供應(yīng)裝置的物料輸送管路的外周，靠近物料輸出端設(shè)置有送料管冷卻循環(huán)裝置；靠近等離子發(fā)生裝置端套置所述燃料氣體管路，所述燃料氣體管路外設(shè)置燃料氣體冷卻循環(huán)裝置；控制系統(tǒng)分別連接原料送料管路、燃料氣體管路、送料管冷卻循環(huán)裝置、燃料氣體冷卻循環(huán)裝置及等離子發(fā)生裝置；控制晶體的生長速度。本實(shí)用新型實(shí)現(xiàn)了對(duì)溫度和組成分布參數(shù)的精確控制，提高了晶體生長所需要的溫度條件、組成條件和力學(xué)條件的控制精度，所生長的晶體完整性好。