一種提高三氯氫硅品質(zhì)的方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202111158816.3 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN113716570A 公開(kāi)（公告）日 2021-11-30
申請(qǐng)公布號(hào) CN113716570A 申請(qǐng)公布日 2021-11-30
分類號(hào) C01B33/107（2006.01）I 分類 無(wú)機(jī)化學(xué);
發(fā)明人 官健;劉逸楓;羅軒;袁野;鐘國(guó)俊 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 四川永祥多晶硅有限公司
代理機(jī)構(gòu) 成都天嘉專利事務(wù)所（普通合伙） 代理人 向丹
地址 614000四川省樂(lè)山市五通橋區(qū)竹根鎮(zhèn)永祥路100號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開(kāi)了一種提高三氯氫硅品質(zhì)的方法，將合成精餾中提純?nèi)葰涔钑r(shí)脫重得到的三氯氫硅重組分與四氯化硅產(chǎn)品液混合，依次經(jīng)樹(shù)脂吸附柱、反歧化樹(shù)脂柱后，再作為合成精餾原料循環(huán)使用，以控制合成精餾得到的精制三氯氫硅物料中硼含量≤0.06ppb、磷含量為0.2～0.5ppb、有機(jī)硅含量為1～4ppm。本發(fā)明通過(guò)將合成精餾中循環(huán)的三氯氫硅重組分與四氯化硅混合，再進(jìn)行脫硼磷等雜質(zhì)處理后，再重復(fù)用于合成精餾以得到精制三氯氫硅，具有提升精制三氯氫硅及多晶硅產(chǎn)品質(zhì)量的目的。