一種細(xì)硅粉用三氯氫硅合成爐

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202021524354.3 申請日 -
公開（公告）號 CN213037420U 公開（公告）日 2021-04-23
申請公布號 CN213037420U 申請公布日 2021-04-23
分類號 C01B33/107 分類 無機化學(xué);
發(fā)明人 官健;程茂林 申請（專利權(quán)）人 四川永祥多晶硅有限公司
代理機構(gòu) 成都天嘉專利事務(wù)所（普通合伙） 代理人 趙麗
地址 614000 四川省樂山市五通橋區(qū)竹根鎮(zhèn)永祥路100號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種細(xì)硅粉用三氯氫硅合成爐，屬于多晶硅生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域，包括下封頭、反應(yīng)段和上封頭，下封頭下端設(shè)置有硅粉排放口，下封頭一側(cè)設(shè)置有進(jìn)氣管，下封頭與反應(yīng)段下端連接處設(shè)置有噴嘴組件，反應(yīng)段包括從下到上依次設(shè)置的第一反應(yīng)段、第二反應(yīng)段和第三反應(yīng)段，第一反應(yīng)段、第二反應(yīng)段和第三反應(yīng)段外部均設(shè)置冷卻夾套，第一反應(yīng)段上設(shè)置有細(xì)硅粉進(jìn)料管，第三反應(yīng)段上部與上封頭固定連接，上封頭上設(shè)有出氣管和安全接口。冷氫化產(chǎn)生的廢硅粉，將廢硅粉重新利用大大提高了廢硅粉的價值。