一種細硅粉用三氯氫硅合成爐

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202021524354.3 申請日 -
公開（公告）號 CN213037420U 公開（公告）日 2021-04-23
申請公布號 CN213037420U 申請公布日 2021-04-23
分類號 C01B33/107 分類 無機化學;
發(fā)明人 官健;程茂林 申請（專利權）人 四川永祥多晶硅有限公司
代理機構 成都天嘉專利事務所（普通合伙） 代理人 趙麗
地址 614000 四川省樂山市五通橋區(qū)竹根鎮(zhèn)永祥路100號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種細硅粉用三氯氫硅合成爐，屬于多晶硅生產(chǎn)技術領域，包括下封頭、反應段和上封頭，下封頭下端設置有硅粉排放口，下封頭一側設置有進氣管，下封頭與反應段下端連接處設置有噴嘴組件，反應段包括從下到上依次設置的第一反應段、第二反應段和第三反應段，第一反應段、第二反應段和第三反應段外部均設置冷卻夾套，第一反應段上設置有細硅粉進料管，第三反應段上部與上封頭固定連接，上封頭上設有出氣管和安全接口。冷氫化產(chǎn)生的廢硅粉，將廢硅粉重新利用大大提高了廢硅粉的價值。