高純乙硅烷尾氣處理裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202022167753.5 申請日 -
公開（公告）號 CN213528099U 公開（公告）日 2021-06-25
申請公布號 CN213528099U 申請公布日 2021-06-25
分類號 B01D53/78;B01D53/38;B01D46/10;B01D53/04;B01D53/26 分類 一般的物理或化學(xué)的方法或裝置;
發(fā)明人 徐昕;俞冬雷;王偉 申請（專利權(quán)）人 南京亞格泰新能源材料有限公司
代理機構(gòu) 南京正聯(lián)知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 李寰
地址 239500 安徽省滁州市全椒縣襄河鎮(zhèn)儒林路政務(wù)中心八號樓717室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型提供一種高純乙硅烷尾氣處理裝置，包括處理箱，處理箱左端設(shè)有進氣管，處理箱右端設(shè)有出氣管，處理箱內(nèi)左端第一輸送管，第一輸送管左端與進氣管連接，第一輸送管內(nèi)設(shè)有過濾板，處理箱內(nèi)中間設(shè)有第二輸送管，第二輸送管左端與第一輸送管右端連接，第二輸送管上側(cè)設(shè)有輸液管，輸液管下端連接有噴頭，噴頭下端伸出第二輸送管內(nèi)，處理箱內(nèi)右端設(shè)有第三輸送管，第三輸送管左端與第二輸送管連接，第三輸送管右端與出氣管連接，第三輸送管內(nèi)設(shè)有吸附板。通過多段輸送進行多次處理，提高尾氣處理效果，結(jié)構(gòu)簡單，使用方便。