乙硅烷制備的尾氣處理排放設(shè)備

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202022135020.3 申請日 -
公開（公告）號 CN213433713U 公開（公告）日 2021-06-15
申請公布號 CN213433713U 申請公布日 2021-06-15
分類號 B01D53/04（2006.01）I;B01D46/00（2006.01）I;B01D46/10（2006.01）I 分類 一般的物理或化學(xué)的方法或裝置;
發(fā)明人 徐昕;俞冬雷;王偉 申請（專利權(quán)）人 南京亞格泰新能源材料有限公司
代理機構(gòu) 南京正聯(lián)知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 李寰
地址 210048江蘇省南京市江北新區(qū)長蘆街道寧六路606號C棟103室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型的目的是提供一種乙硅烷制備的尾氣處理排放設(shè)備，通過進(jìn)氣管進(jìn)尾氣，尾氣可進(jìn)入到緩沖罐充暫時存儲，緩沖罐的尾氣之后出氣管、總進(jìn)管和分進(jìn)管進(jìn)入到至少兩個活性炭過濾器內(nèi)進(jìn)行過濾，這樣適應(yīng)尾氣流量大的情況，尾氣還可直接通過直進(jìn)管連接通入到活性炭過濾器中過濾，這樣適應(yīng)尾氣流量小的情況，過濾之后的尾氣通過排氣管排出，至少兩個活性炭過濾器可以高效的過濾，在需要清洗某個活性炭過濾器時，通過閥門關(guān)閉該活性炭過濾器，其余的可繼續(xù)工作，可以兼顧，適應(yīng)性強，整個設(shè)備可以高效的對尾氣進(jìn)行處理排放，適用于生產(chǎn)中。