高純乙硅烷純化過濾裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202022167724.9 申請日 -
公開（公告）號 CN213528025U 公開（公告）日 2021-06-25
申請公布號 CN213528025U 申請公布日 2021-06-25
分類號 B01D53/04（2006.01）I;C01B33/04（2006.01）I 分類 一般的物理或化學(xué)的方法或裝置;
發(fā)明人 鄭春寧;王偉;俞冬雷 申請（專利權(quán)）人 南京亞格泰新能源材料有限公司
代理機(jī)構(gòu) 南京正聯(lián)知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 李寰
地址 239500 安徽省滁州市全椒縣襄河鎮(zhèn)儒林路政務(wù)中心八號樓717室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型提供一種高純乙硅烷純化過濾裝置，包括罐體，罐體內(nèi)中間設(shè)有隔板，隔板為圓柱形，隔板外側(cè)與罐體內(nèi)壁之間上下對稱設(shè)有外孔板，隔板外側(cè)與罐體之間設(shè)有螺旋導(dǎo)向板，螺旋導(dǎo)向板設(shè)置在外孔板之間，隔板內(nèi)側(cè)之間上下對稱設(shè)有內(nèi)孔板，外孔板之間填充有活性炭，內(nèi)孔板之間填充有分子篩，罐體內(nèi)壁和隔板兩側(cè)都設(shè)有內(nèi)腔，內(nèi)腔內(nèi)填充有冷卻液體，罐體上左側(cè)設(shè)有進(jìn)氣管，罐體上中間設(shè)有出氣管。通過設(shè)置隔板將罐體內(nèi)進(jìn)行分隔，乙硅烷從進(jìn)氣管進(jìn)入罐體內(nèi)，依次通過活性炭和分子篩進(jìn)行吸附，并且通過填充冷卻液體進(jìn)行冷卻，提高吸附效果，結(jié)構(gòu)簡單，使用便捷。