一種半導(dǎo)體芯片字符表面缺陷管腳缺陷檢測光源

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202010192687.9 申請日 -
公開（公告）號 CN111366588A 公開（公告）日 2020-07-03
申請公布號 CN111366588A 申請公布日 2020-07-03
分類號 G01N21/95;G01N21/01 分類 測量；測試;
發(fā)明人 張祥明 申請（專利權(quán)）人 合肥圖迅電子科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京知聯(lián)天下知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 合肥圖迅電子科技有限公司
地址 230031 安徽省合肥市蜀山區(qū)高新區(qū)望江西路800號動漫基地C4樓501室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提出一種半導(dǎo)體芯片字符表面缺陷管腳缺陷檢測光源，包括第一光學(xué)組件、第二光學(xué)組件和散光板；第一光學(xué)組件后端安裝有散光板，前端和第二光學(xué)組件連接；第一光學(xué)組件包括方形光源殼和貼片LED燈，方形光源殼內(nèi)側(cè)安裝有貼片LED燈；第二光學(xué)組件包括第一雙排LED光源蓋、第一雙排LED光源、偏光膜、雙排LED光源蓋偏光夾緊圈、第二雙排LED光源蓋、轉(zhuǎn)接頭和第二雙排LED光源；轉(zhuǎn)接頭、第二雙排LED光源蓋、第一雙排LED光源蓋依次連接；轉(zhuǎn)接頭內(nèi)部嵌有第二雙排LED光源；第一雙排LED光源蓋內(nèi)部安裝有第一雙排LED光源、偏光膜和雙排LED光源蓋偏光夾緊圈。這種光源解決了舊版本三個光源在同軌道疊加問題，在兼容其他多種檢測產(chǎn)品情況下達(dá)到理想效果，滿足檢測標(biāo)準(zhǔn)。