小型化質(zhì)譜儀

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202020469763.1 申請(qǐng)日 -
公開(公告)號(hào) CN211654766U 公開(公告)日 2020-10-09
申請(qǐng)公布號(hào) CN211654766U 申請(qǐng)公布日 2020-10-09
分類號(hào) H01J49/00(2006.01)I;H01J49/04(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 劉思雨 申請(qǐng)(專利權(quán))人 昆山聶爾精密儀器有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京欣永瑞知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 代理人 昆山聶爾精密儀器有限公司
地址 215300江蘇省蘇州市昆山市玉山鎮(zhèn)紫竹路1689號(hào)5號(hào)房新一代通信產(chǎn)業(yè)園103室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種小型化質(zhì)譜儀,包括外殼,外殼的內(nèi)腔設(shè)有泵系統(tǒng)、電控組件及由支架支撐的真空室,真空室內(nèi)腔通過(guò)隔板分成第一真空室和第二真空室,所述隔板上設(shè)有錐形孔,所述泵系統(tǒng)由機(jī)械泵和分子泵連接組成,所述機(jī)械泵與第一真空室連接,所述分子泵與第二真空室連接,所述第一真空室與進(jìn)樣管連通,所述第一真空室后部設(shè)有離子傳輸組件,所述離子傳輸組件的前、后端分別對(duì)著進(jìn)樣管與錐形孔,所述第二真空室內(nèi)由前向后設(shè)有離子導(dǎo)引裝置、質(zhì)量分析器及檢測(cè)器,所述進(jìn)樣管、離子傳輸組件、錐形孔、離子導(dǎo)引裝置及質(zhì)量分析器的中心線重合。本實(shí)用新型小型化質(zhì)譜儀結(jié)構(gòu)緊湊小巧,既保證了儀器便攜式要求,且有較大的進(jìn)樣量使儀器能實(shí)現(xiàn)低豐度樣品的分析。??