瞬態(tài)電壓抑制器及其制作方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201811167811.5 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN109300786B 公開（公告）日 2021-11-30
申請(qǐng)公布號(hào) CN109300786B 申請(qǐng)公布日 2021-11-30
分類號(hào) H01L21/329（2006.01）I;H01L29/861（2006.01）I;H01L29/06（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 程羽佳;于廣;其他發(fā)明人請(qǐng)求不公開姓名 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 深圳市南碩明泰科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京中仟知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 黃照
地址 528400 廣東省中山市石岐區(qū)學(xué)院路1號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開一種瞬態(tài)電壓抑制器及其制作方法，該制作方法通過刻蝕第一導(dǎo)電類型的襯底并形成位于所述襯底內(nèi)的正向溝槽；在所述正向溝槽內(nèi)填充介質(zhì)層；從所述襯底的側(cè)表面刻蝕所述襯底并在所述襯底內(nèi)形成延伸至所述介質(zhì)層的側(cè)向溝槽；在所述側(cè)向溝槽內(nèi)生長第二導(dǎo)電類型的外延層；在所述襯底的上表面和下表面分別覆蓋第一金屬層和第二金屬層，從而形成瞬態(tài)電壓抑制器。本發(fā)明所述制作方法制備得到的瞬態(tài)電壓抑制器具有雙向保護(hù)功能，且使用該方法制作瞬態(tài)電壓抑制器，不僅成本低，而且制作周期短。