瞬態(tài)電壓抑制器及其制作方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201811167811.5 申請日 -
公開（公告）號 CN109300786B8 公開（公告）日 2021-12-24
申請公布號 CN109300786B8 申請公布日 2021-12-24
分類號 H01L21/329;H01L29/861;H01L29/06 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 程羽佳;于廣;其他發(fā)明人請求不公開姓名 申請（專利權）人 深圳市南碩明泰科技有限公司
代理機構 北京中仟知識產(chǎn)權代理事務所（普通合伙） 代理人 黃照
地址 528400 廣東省中山市石岐區(qū)學院路1號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開一種瞬態(tài)電壓抑制器及其制作方法，該制作方法通過刻蝕第一導電類型的襯底并形成位于所述襯底內(nèi)的正向溝槽；在所述正向溝槽內(nèi)填充介質(zhì)層；從所述襯底的側表面刻蝕所述襯底并在所述襯底內(nèi)形成延伸至所述介質(zhì)層的側向溝槽；在所述側向溝槽內(nèi)生長第二導電類型的外延層；在所述襯底的上表面和下表面分別覆蓋第一金屬層和第二金屬層，從而形成瞬態(tài)電壓抑制器。本發(fā)明所述制作方法制備得到的瞬態(tài)電壓抑制器具有雙向保護功能，且使用該方法制作瞬態(tài)電壓抑制器，不僅成本低，而且制作周期短。