一種基于DMD的光刻機(jī)圖形拼接誤差的檢測(cè)與修正方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202111532272.2 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN114488704A 公開（公告）日 2022-05-13
申請(qǐng)公布號(hào) CN114488704A 申請(qǐng)公布日 2022-05-13
分類號(hào) G03F7/20（2006.01）I 分類 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕;
發(fā)明人 廉治華;謝軍;劉敏;樊廷慧;程衛(wèi)濤 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 西安金百澤電路科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 深圳市千納專利代理有限公司 代理人 -
地址 516081廣東省惠州市大亞灣區(qū)響水河龍山六路
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種基于DMD的光刻機(jī)圖形拼接誤差的檢測(cè)與修正方法，包括線路圖形設(shè)計(jì)；拼接重疊區(qū)域設(shè)定；拼接圖形設(shè)計(jì)；線路圖形曝光顯影；拼接圖形曝光顯影；重合線條判斷；DMD偏移位置判斷；DMD位置補(bǔ)償；上述檢測(cè)與修正方法，將基準(zhǔn)圖形和偏移圖形分別利用基準(zhǔn)DMD和非基準(zhǔn)DMD在透明片上的拼接重疊區(qū)域內(nèi)進(jìn)行曝光，判斷非基準(zhǔn)DMD曝光的偏移圖形與基準(zhǔn)DMD曝光的基準(zhǔn)圖形的重合線條，根據(jù)重合線條判斷非基準(zhǔn)DMD與基準(zhǔn)DMD的位置是否有偏移，有偏移則根據(jù)線條預(yù)設(shè)間距值調(diào)整非基準(zhǔn)DMD的位置，可節(jié)省測(cè)量時(shí)間，提高了檢測(cè)效率，同時(shí)避免受測(cè)量?jī)x器的誤差影響，以及圖形拼接誤差測(cè)量不精準(zhǔn)帶來的干擾。