一種硅片化學鍍銅方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201710963804.5 申請日 -
公開（公告）號 CN107747084B 公開（公告）日 2019-09-24
申請公布號 CN107747084B 申請公布日 2019-09-24
分類號 C23C18/40;C23C18/18;C30B33/00 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 陳偉長;劉波;張勇 申請（專利權(quán)）人 江蘇南通農(nóng)村商業(yè)銀行股份有限公司通州支行
代理機構(gòu) 蘇州廣正知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 張漢欽
地址 226300 江蘇省南通市南通高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)金鼎路26號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種硅片化學鍍銅方法，屬于化學鍍銅技術(shù)領域，所述硅片化學鍍銅方法包括：1）除油處理；2）粗化處理；3）敏化處理；4）活化處理；5）化學鍍銅處理。本發(fā)明的設備以及工藝簡單，易于實現(xiàn)，且可以在硅片表面形成均勻致密且機械強度高的銅層，同時具有優(yōu)異的耐剝離性能。