超結(jié)功率器件及其制造方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201910693299.6 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN110400833A 公開(kāi)（公告）日 2019-11-01
申請(qǐng)公布號(hào) CN110400833A 申請(qǐng)公布日 2019-11-01
分類號(hào) H01L29/06（2006.01）I; H01L21/336（2006.01）I; H01L29/78（2006.01）I; H01L29/41（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 楊東林; 陳文高; 劉俠 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 蘇州邁志微半導(dǎo)體有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京中知法苑知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 上海昱率科技有限公司
地址 215010 江蘇省蘇州市高新區(qū)竹園路209號(hào)2號(hào)樓2203
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本公開(kāi)涉及一種超結(jié)功率器件，包括：第一導(dǎo)電類型的襯底層；第一導(dǎo)電類型的外延層，設(shè)置于所述襯底層上；第二導(dǎo)電類型的多個(gè)第一體區(qū)和多個(gè)第二體區(qū)，所述多個(gè)第一體區(qū)和所述多個(gè)第二體區(qū)周期排列設(shè)置在所述外延層中，所述第一體區(qū)為柱狀體區(qū)；多個(gè)分段柵，周期排列設(shè)置在所述外延層上，每個(gè)所述分段柵包括第一柵部分和第二柵部分。