一種非制冷紅外探測器及其像元、參考元以及其制備方法
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN202010941154.6 | 申請日 | - |
| 公開（公告）號 | CN112362169A | 公開（公告）日 | 2021-02-12 |
| 申請公布號 | CN112362169A | 申請公布日 | 2021-02-12 |
| 分類號 | G01J5/22(2006.01)I; | 分類 | 測量；測試; |
| 發(fā)明人 | 洪立福;陳丹;馬占鋒;高健飛;黃立 | 申請（專利權(quán)）人 | 武漢鯤鵬微納光電有限公司 |
| 代理機構(gòu) | 北京匯澤知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | 代嬋 |
| 地址 | 430000湖北省武漢市東湖新技術(shù)開發(fā)區(qū)高新三路27號5號樓510室 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明涉及一種非制冷紅外探測器及其像元、參考元以及其制備方法，像元包括襯底以及橋面層，襯底上端的左右兩側(cè)分別設(shè)有橋腿，橋腿通過第一支撐腿支撐在襯底上端，橋面層的左右兩側(cè)分別通過第二支撐腿對應(yīng)支撐在左右兩側(cè)的橋腿上端，襯底的上端面上設(shè)有反射層，反射層與橋面層之間形成諧振腔，橋面層、橋腿、第一支撐腿、第二支撐腿內(nèi)均設(shè)有導(dǎo)電材料，橋面內(nèi)的導(dǎo)電材料分別與熱敏感層、第二支撐腿內(nèi)的導(dǎo)電材料電連接，第二支撐腿內(nèi)的導(dǎo)電材料與橋腿內(nèi)的導(dǎo)電材料電連接，橋腿內(nèi)的導(dǎo)電材料通過第一支撐腿內(nèi)的導(dǎo)電材料與襯底的讀出電路電連接。本發(fā)明設(shè)計和制備了高性能小尺寸非制冷紅外芯片，有效的提高了非制冷紅外芯片性能。?? |
