一種晶圓倒盒裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202111244045.X 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN113690169A 公開(kāi)（公告）日 2021-11-23
申請(qǐng)公布號(hào) CN113690169A 申請(qǐng)公布日 2021-11-23
分類號(hào) H01L21/677 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 錢誠(chéng);童建;周志勇;霍召軍 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 亞電科技南京有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京商專潤(rùn)文專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 陳平
地址 210000 江蘇省南京市江寧區(qū)雙龍大道1347號(hào)同曦大廈605-7室（江寧開(kāi)發(fā)區(qū)）
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請(qǐng)涉及一種晶圓倒盒裝置，用于將晶圓從一個(gè)晶圓盒轉(zhuǎn)移到另一個(gè)晶圓盒完成倒盒。需要進(jìn)行倒盒時(shí)，滿載晶圓的晶圓盒放置到第一旋轉(zhuǎn)組件上，空的晶圓盒放置到第二旋轉(zhuǎn)組件上，第一旋轉(zhuǎn)組件和第二旋轉(zhuǎn)組件旋轉(zhuǎn)使晶圓盒相對(duì)設(shè)置，之后由推動(dòng)總成推動(dòng)第一旋轉(zhuǎn)組件上的晶圓盒內(nèi)的晶圓推動(dòng)到第二旋轉(zhuǎn)組件上的晶圓盒內(nèi)，而后，第一旋轉(zhuǎn)組件和第二旋轉(zhuǎn)組件旋轉(zhuǎn)回歸圖位置，滿載晶圓的晶圓盒和空的晶圓盒均被機(jī)械手抓走，可繼續(xù)進(jìn)行下一個(gè)晶圓的轉(zhuǎn)移。