基于往復(fù)升縮的半導(dǎo)體晶圓外壁清洗裝置和方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202110365952.3 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN112802783B | 公開(kāi)（公告）日 | 2021-06-18 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN112802783B | 申請(qǐng)公布日 | 2021-06-18 |
| 分類(lèi)號(hào) | H01L21/67;B08B3/02;B08B3/14;B08B1/02;B08B13/00 | 分類(lèi) | 基本電氣元件; |
| 發(fā)明人 | 錢(qián)誠(chéng);李剛;童建 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 亞電科技南京有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京商專(zhuān)潤(rùn)文專(zhuān)利代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 陳平 |
| 地址 | 210000 江蘇省南京市江寧區(qū)雙龍大道1347號(hào)同曦大廈605-7室（江寧開(kāi)發(fā)區(qū)） | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明涉及一種清洗裝置，具體地說(shuō)，涉及基于往復(fù)升縮的半導(dǎo)體晶圓外壁清洗裝置和方法。其包括沖刷裝置以及安裝在所述沖刷裝置上方的清洗裝置，所述沖刷裝置包括安裝臺(tái)、儲(chǔ)水箱和安裝箱，所述儲(chǔ)水箱固定在安裝臺(tái)頂部的一端，該基于往復(fù)升縮的半導(dǎo)體晶圓外壁清洗裝置及其凈水方法中，通過(guò)設(shè)置的負(fù)壓機(jī)和固定臺(tái)，可以對(duì)晶圓進(jìn)行負(fù)壓固定，以便于晶圓的外壁可以被完整的清洗到，解決了現(xiàn)有的裝置晶圓與固定裝置接觸的部分無(wú)法被清洗，導(dǎo)致清洗完畢后還需要人工對(duì)晶圓與固定裝置接觸的部分清洗，進(jìn)而提高了對(duì)晶圓的清洗時(shí)間的問(wèn)題。 |
